“高速超精密激光干涉儀”受關(guān)注

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據(jù)哈爾濱工業(yè)大學(xué)新聞網(wǎng)，儀器學(xué)院胡鵬程教授團(tuán)隊(duì)研制的“高速超精密激光干涉儀”榮獲首屆“金燧獎(jiǎng)”中國光電儀器品牌榜金獎(jiǎng)。

據(jù)介紹，該團(tuán)隊(duì)專注于高速超精密激光干涉儀研發(fā)，以解決制約我國高端裝備發(fā)展和量子化計(jì)量基準(zhǔn)等前沿研究的“卡脖子”問題。團(tuán)隊(duì)突破系列核心測量方法和工程化關(guān)鍵技術(shù)，解決了該領(lǐng)域存在的測不準(zhǔn)、測不精、測不快的核心難題，共獲授權(quán)發(fā)明專利113項(xiàng)（其中國際專利6項(xiàng)），制定相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)2項(xiàng)，出版學(xué)術(shù)著作2部。在此基礎(chǔ)上，團(tuán)隊(duì)研制了HUE-D/S/X系列高速超精密激光干涉儀并進(jìn)行小批量生產(chǎn)，經(jīng)3位院士等專家鑒定，儀器整體技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平，3項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)處于國際領(lǐng)先。

A股公司中，炬光科技（688167）為半導(dǎo)體光刻應(yīng)用領(lǐng)域提供光刻機(jī)曝光系統(tǒng)中的核心激光光學(xué)元器件光場勻化器。賽微電子（300456）為ASML提供透鏡系統(tǒng)MEMS部件的工藝開發(fā)與晶圓制造服務(wù)，該廠商目前為公司MEMS業(yè)務(wù)的前十大客戶。

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