(資料圖)
大族激光2月6日在互動平臺表示，目前公司光刻機項目主要應用在分立器件領域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻機已投入市場，步進式光刻機已啟動用戶優(yōu)化，公司將根據(jù)市場需求及業(yè)務發(fā)展情況持續(xù)制定研發(fā)計劃，并加大研發(fā)核心部件國產(chǎn)化。
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大族激光2月6日在互動平臺表示，目前公司光刻機項目主要應用在分立器件領域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻機已投入市場，步進式光刻機已啟動用戶優(yōu)化，公司將根據(jù)市場需求及業(yè)務發(fā)展情況持續(xù)制定研發(fā)計劃，并加大研發(fā)核心部件國產(chǎn)化。
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