今日熱聞!精測電子首臺12寸晶圓外觀缺陷光學(xué)檢查機(jī)成功交付客戶

發(fā)布時(shí)間:2022-08-24 06:55:44  |  來源:騰訊網(wǎng)  


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摘要:8月23日,精測電子通過官方微信公眾號宣布,公司首臺12寸晶圓外觀缺陷光學(xué)檢查機(jī)在精測電子蘇州產(chǎn)業(yè)園順利出機(jī)正式交付客戶,這是精測電子自主研發(fā)的晶圓外觀檢測設(shè)備首次成功交付客戶,標(biāo)志著精測電子在泛半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域取得又一重要技術(shù)突破。精測電子通過官方微信公眾號宣布,公司首臺12寸晶圓外觀缺陷光學(xué)檢查機(jī)在精測電子蘇州產(chǎn)業(yè)園順利出機(jī)正式交付客戶,這是精測電子自主研發(fā)的晶圓外觀檢測設(shè)備首次成功交付客戶,標(biāo)志著精測電子在泛半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域取得又一重要技術(shù)突破。

精測電子表示,晶圓缺陷光學(xué)檢查機(jī)的順利交付是公司在泛半導(dǎo)體檢測版圖上的又一重大突破,未來,精測電子將繼續(xù)秉持著良率管理專家的行業(yè)定位,深耕品牌,精耕技術(shù),推動泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同進(jìn)步,助力行業(yè)快速發(fā)展。

值得一提的是,今年8月11日,精測電子子公司——上海精測半導(dǎo)體第三批前道光學(xué)測量設(shè)備也從新廠順利出貨,再度交付于華北大客戶。本次向客戶輸出了EFILM系列光學(xué)膜厚測量設(shè)備和EPROFILE系列光學(xué)關(guān)鍵尺寸測量(Optical Critical Dimension, OCD)設(shè)備。

據(jù)悉,該批次出機(jī)的設(shè)備均在上海精測半導(dǎo)體新建研發(fā)總部裝備制造基地完成總裝、調(diào)試。新裝備制造基地坐擁約4000平方米無塵車間,未來將具備150 的整機(jī)裝調(diào)機(jī)臺位,目前已規(guī)劃五條柔性集成裝配、軟硬件調(diào)試生產(chǎn)線和一條光學(xué)分系統(tǒng)離線柔性測調(diào)流水線。

編輯:芯智訊-林子

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