格隆匯2月18日丨大為股份(002213.SZ)公布,近日,公司收到國家知識產(chǎn)權局頒發(fā)的10項《商標注冊證》,公司全資子公司深圳市芯匯群微電子技術有限公司(“芯匯群”)收到國家知識產(chǎn)權局頒發(fā)的1項《發(fā)明專利證書》、3項《商標注冊證》。
該發(fā)明公開一種基于卷積神經(jīng)網(wǎng)絡的晶圓缺陷檢測方法,可以提高晶圓缺陷檢測效率,該檢測方法包括獲取基于卷積神經(jīng)網(wǎng)絡的缺陷檢測模型并保存;獲取圖像采集設備采集的晶圓圖像,并進行加權均值濾波處理,將處理后的晶圓圖像并輸入至所述缺陷檢測模型;所述加權均值濾波處理包括以晶圓圖像的每一個像素點為中心像素點,選取預設大小的濾波窗口,濾除濾波窗口內(nèi)的極大值像素點和極小值像素點,獲取剩余像素點的均值像素值及各個剩余像素點的權值,并進行歸一化處理,對各個剩余像素點的像素值與對應權值進行加權求和,得到的像素值作為所述濾波窗口內(nèi)中心像素點的濾波后的像素值;利用所述缺陷檢測模型檢測所述晶圓圖像的缺陷的類型。