ASML高數(shù)值孔徑極紫外光刻機設(shè)計已基本完成 預(yù)計2022年商用

阿斯麥?zhǔn)侨蚰壳拔ㄒ荒苤圃鞓O紫外光刻機的廠商，在推出 TWINSCAN NXE:3400B 和 NXE:3400C 這兩款極紫外光刻機之后，他們還在研發(fā)更先進、效率更高的極紫外光刻機。

在 10 月 14 日發(fā)布的三季度財報中，阿斯麥就披露他們新一代的極紫外光刻機 TWINSCAN NXE:3600D，計劃在明年年中開始出貨，生產(chǎn)效率較目前的產(chǎn)品提升 18%。

而從外媒的報道來看，除了 NXE:3600D，阿斯麥還在研發(fā)高數(shù)值孔徑的極紫外光刻機 NXE:5000 系列，設(shè)計已經(jīng)基本完成。

外媒在報道中也表示，雖然阿斯麥 NXE:5000 高數(shù)值孔徑極紫外光刻機的設(shè)計已基本完成，但商用還需時日，預(yù)計在 2022 年開始商用。

作為一款高數(shù)值孔徑的極紫外光刻機，NXE:5000 系列的數(shù)值孔徑將提高到 0.55，阿斯麥目前已推出的 TWINSCAN NXE:3400B 和 NXE:3400C 這兩款極紫外光刻機，數(shù)值孔徑為 0.33。

值得注意的，在阿斯麥高數(shù)值孔徑的極紫外光刻機方面，月初也出現(xiàn)過相關(guān)的消息。

在月初報道 CEO 彼得 · 維尼克等阿斯麥高管，到訪三星電子并參觀三星電子的半導(dǎo)體工廠時，外媒表示三星希望獲得阿斯麥更多的極紫外光刻機、先于臺積電獲得高數(shù)值孔徑極紫外光刻機。

關(guān)鍵詞： ASML 光刻機