ASML進(jìn)入中國(guó)超30年 至今無(wú)法向中國(guó)市場(chǎng)出口EUV光刻機(jī)

中國(guó)需要光刻機(jī)，尤其是支持先進(jìn)制程的高端光刻機(jī)。

具體來(lái)說(shuō)，就是 EUV (極紫外光源)光刻機(jī)。

目前，世界上能夠制造 EUV 光刻機(jī)的，只有一家公司，它就是荷蘭光刻機(jī)巨頭 ASML(中文名為阿斯麥)。實(shí)際上，作為一家外企，ASML 進(jìn)入到中國(guó)市場(chǎng)已經(jīng)超過(guò) 30 年，可以說(shuō)是淵源深厚。

但是，由于商業(yè)之外的原因，ASML 無(wú)法向中國(guó)市場(chǎng)出口 EUV 光刻機(jī)，盡管它自己其實(shí)是非常樂(lè)意的。

背后的始作俑者，還是美國(guó)。

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ASML 與中國(guó)市場(chǎng)的深厚淵源

中國(guó)大陸市場(chǎng)，一直是 ASML 在全球范圍內(nèi)最重要的市場(chǎng)之一。

以 2020 年為例，ASML 在第二季度總共賣(mài)出了 61 臺(tái)光刻機(jī)(包括新設(shè)備和二手設(shè)備)，在第三季度賣(mài)出了 60 臺(tái)——這其中，有超過(guò) 24 臺(tái)是賣(mài)給了中國(guó)大陸。

按照 ASML 全球副總裁、中國(guó)區(qū)總裁沈波的說(shuō)法，2020 年第二、第三季度，公司發(fā)往中國(guó)大陸地區(qū)的光刻機(jī)臺(tái)數(shù)超過(guò)了全球總臺(tái)數(shù)的 20%。

當(dāng)然，這些出售到中國(guó)大陸的光刻機(jī)，不包含 EUV 設(shè)備。

對(duì)此，沈波表示：

ASML 必須要在遵守法律法規(guī)的前提下進(jìn)行光刻機(jī)出口。但我們對(duì)向中國(guó)出口光刻機(jī)是保持很開(kāi)放態(tài)度的，我們對(duì)全球客戶(hù)都一視同仁，只要是我們能夠提供的技術(shù)和設(shè)備，我們都會(huì)全力支持。

可以看到，如果排除外界因素的干擾，ASML 自身是很有誠(chéng)意與中國(guó)合作的。

雷鋒網(wǎng)了解到，ASML 成立于 1984 年;當(dāng)時(shí)，市面上尚有多家生產(chǎn)光刻機(jī)的公司，而 ASML 位居最后一名。不過(guò)，僅用 2 年時(shí)間，ASML 就研制出了型號(hào)為 PAS2500 的晶圓步進(jìn)式光刻機(jī)(Stepper)，它可以生產(chǎn) VLSI 一代的芯片，這使 ASML 在市場(chǎng)上站穩(wěn)了腳跟，并擁有了一定的名氣。

值得一提的是，早在 1988 年，ASML 在進(jìn)軍亞洲之時(shí)，就向中國(guó)發(fā)售了最早一臺(tái)設(shè)備。

經(jīng)過(guò)三十多年的深耕，ASML 在中國(guó)大陸已經(jīng)出售 700 多臺(tái)光刻機(jī)裝機(jī)，涵蓋了 ASML 公司的(EUV 設(shè)備之外)的絕大部分類(lèi)型產(chǎn)品。

不僅如此，在 2000 年天津成立分公司的基礎(chǔ)上，ASML 目前在中國(guó)設(shè)有 12 個(gè)辦公室，11 個(gè)倉(cāng)儲(chǔ)物流中心，2 處技術(shù)開(kāi)發(fā)中心(深圳和北京，做計(jì)算光刻、量測(cè)等開(kāi)發(fā))，擁有 1000 多名員工。

此外，ASML 還在中國(guó)專(zhuān)門(mén)建設(shè)了 1 個(gè)培訓(xùn)中心，培養(yǎng)光刻行業(yè)人才。

正如沈波所言，在遵守法律法規(guī)的同時(shí)，ASML 全力支持客戶(hù)和中國(guó)集成電路行業(yè)的發(fā)展，在每個(gè)階段 ASML 和中國(guó)集成電路業(yè)界都有著很好的合作。

他還表示，ASML 在中國(guó)的整體狀態(tài)越來(lái)越好，未來(lái)服務(wù)會(huì)更多樣化，對(duì)中國(guó)的投入也會(huì)越來(lái)越大。

2

EUV 光刻機(jī)未能出口中國(guó)

的根本原因，是美國(guó)

作為全球最大的光刻機(jī)企業(yè)，ASML 獨(dú)自享受著 EUV 光刻機(jī)技術(shù)帶來(lái)的商業(yè)發(fā)展便利，但同時(shí)也不得不承受大國(guó)競(jìng)爭(zhēng)和沖突下的沉重政治枷鎖。

一個(gè)典型的案例，就是 EUV 光刻機(jī)向中國(guó)出口受阻。

EUV 光刻機(jī)是光刻機(jī)在發(fā)展過(guò)程中的第五代產(chǎn)品，由于采用了極紫外線(xiàn)，它的最小工業(yè)節(jié)點(diǎn)到了 22nm-7nm，可以說(shuō)是世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)設(shè)備——而這種設(shè)備，只有 ASML 能造出來(lái)。

在 EUV 技術(shù)的研發(fā)層面，ASML 也經(jīng)歷了艱苦跋涉的過(guò)程。

實(shí)際上 ASML 從 1999 年就開(kāi)始 EUV 光刻機(jī)的研發(fā)工作，原計(jì)劃在 2004 年推出產(chǎn)品，但直到 2010 年才研發(fā)出第一臺(tái) EUV 原型機(jī)，2016 年才實(shí)現(xiàn)下游客戶(hù)供貨——甚至到 2019 年，第一款 7nm EUV 工藝的芯片才正走向商用。

不過(guò)，在美國(guó)主導(dǎo)的《瓦森納協(xié)定》(Wassenaar Arrangement)的影響下，這一高端設(shè)備對(duì)中國(guó)的出口受到嚴(yán)格限制——一直到 2018 年才發(fā)生轉(zhuǎn)機(jī)。

2018 年 4 月，中芯國(guó)際向 ASML 訂購(gòu)了一臺(tái) EUV 光刻機(jī)，價(jià)值 1.2 億美元，預(yù)計(jì) 2019 年年初交貨——后來(lái)此事被報(bào)道后，ASML 回應(yīng)稱(chēng)，對(duì)包括中國(guó)客戶(hù)在內(nèi)的全球客戶(hù)都一視同仁，且向中國(guó)出售 EUV 光刻機(jī)并沒(méi)有違反《瓦森納協(xié)定》。

當(dāng)時(shí)，荷蘭政府的確向 ASML 發(fā)放了出口許可證。

然而，天有不測(cè)風(fēng)云，這場(chǎng)交易從一開(kāi)始就受到阻礙。根據(jù)知情人士的說(shuō)法，美國(guó)立即盯上了這筆交易——接下來(lái)的幾個(gè)月里，美方官員至少四次與荷蘭官員開(kāi)會(huì)，討論可否直接封殺這筆交易。

但雪上加霜的是，2018 年 12 月 1 日，ASML 元件供應(yīng)商 Prodrive 的一家工廠(chǎng)又發(fā)生重大火災(zāi)，ASML 當(dāng)時(shí)公開(kāi)表示，2019 年年初的出貨預(yù)計(jì)將遭遞延。

與此同時(shí)，美國(guó)政府繼續(xù)就這筆交易進(jìn)行背后運(yùn)作。

2019 年元旦前后，美國(guó)國(guó)防部官員在荷蘭駐華盛頓大使館向?qū)Ψ接懻摿诉@筆交易的 “安全風(fēng)險(xiǎn)”;隨后在 2019 年 6 月，美國(guó)國(guó)務(wù)卿蓬佩奧訪(fǎng)問(wèn)荷蘭，再次向荷蘭政府施加壓力，要求停止這筆交易。

值得一提的是，2019 年 6 月 30 日，荷蘭政府向 ASML 頒發(fā)的出口許可證到期。

2019 年 7 月，荷蘭首相 Mark Rutte 訪(fǎng)問(wèn)美國(guó)，美國(guó)白宮高級(jí)官員向他展示了一份情報(bào)報(bào)告，內(nèi)容是所謂 “中國(guó)獲得光刻機(jī)的可能后果”。據(jù)路透社報(bào)道，這次訪(fǎng)問(wèn)后不久，荷蘭政府決定不再續(xù)簽這份許可證——此后 ASML 未出現(xiàn)在荷蘭外交部數(shù)據(jù)庫(kù)的續(xù)簽名單上。

此后，關(guān)于 EUV 光刻機(jī)向中國(guó)出口，ASML 的官方說(shuō)法一直是：公司仍在等待新許可證申請(qǐng)的批準(zhǔn)。而針對(duì)媒體對(duì)于美國(guó)施壓的報(bào)道，荷蘭外交部也在 2020 年在 1 月 15 日表示：

在決定是否簽發(fā)出口許可證時(shí)，荷蘭政府要權(quán)衡經(jīng)濟(jì)和安全利益。

由此，ASML 向中國(guó)市場(chǎng)出售 EUV 光刻機(jī)的計(jì)劃，就此擱置。

3

小結(jié)

2020 年，隨著美國(guó)對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體領(lǐng)域的打壓，國(guó)人對(duì)于光刻機(jī)的關(guān)注度越來(lái)越高，而 ASML 也因此受到關(guān)注。

但能否向中國(guó)出售 EUV 光刻機(jī)，的確非 ASML 所能左右。

可以確定的是，對(duì)于向中國(guó)市場(chǎng)出售光刻機(jī)一事，ASML 一直是非常積極的。根據(jù) ASML 中國(guó)區(qū)總裁沈波的最新說(shuō)法，ASML 已經(jīng)向荷蘭政府提交出口 EUV 光刻機(jī)的申請(qǐng)，目前還在等待荷蘭政府的出口許可證。

而荷蘭政府，則還在等待美國(guó)政府的態(tài)度。

當(dāng)然，目前美國(guó)政府的態(tài)度也存在不確定性，特朗普眼下必然無(wú)心考慮此事，恐怕一切還要等到明年新一屆美國(guó)政府正式上任之后。

關(guān)鍵詞： 光刻機(jī) duv EUV