國(guó)產(chǎn)掃描電鏡制造取得巨大進(jìn)展

對(duì)材料微觀結(jié)構(gòu)的觀測(cè)一般離不開“微觀相機(jī)”，即掃描電子顯微鏡。由此，在材料、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、化學(xué)和半導(dǎo)體等研究領(lǐng)域迫切需要這種“利器”。然而，目前我國(guó)科研與工業(yè)部門所用的掃描電鏡嚴(yán)重依賴進(jìn)口，每年花費(fèi)上億美元從美國(guó)、日本、德國(guó)和捷克斯洛伐克等國(guó)采購掃描電鏡。國(guó)產(chǎn)掃描電鏡也都集中在低端產(chǎn)品領(lǐng)域。

記者近日從北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)獲悉，由園區(qū)孵化的創(chuàng)新企業(yè)聚束科技(北京)有限公司(以下簡(jiǎn)稱聚束科技)自主研發(fā)的高通量(場(chǎng)發(fā)射)掃描電子顯微鏡，以實(shí)物通電工作狀態(tài)展示高端電鏡的風(fēng)采，破解了國(guó)產(chǎn)掃描電鏡“弱視”問題。

“該系統(tǒng)可對(duì)工程級(jí)材料進(jìn)行整體納米晶粒、成分分布統(tǒng)計(jì)等電鏡微區(qū)分析，視頻級(jí)納米分析能力，使掃描電鏡從傳統(tǒng)意義的納米‘照相機(jī)’躍變?yōu)榧{米‘攝像機(jī)’。”聚束科技總經(jīng)理何偉告訴記者。一位業(yè)內(nèi)資深人士表示，“雖然市場(chǎng)還不是特別大，但它是多個(gè)科研領(lǐng)域用于科學(xué)分析的關(guān)鍵儀器設(shè)備”。

據(jù)了解，目前領(lǐng)航者掃描電鏡在國(guó)內(nèi)裝機(jī)數(shù)量達(dá)到10臺(tái)(套)，并出口海外，實(shí)現(xiàn)在國(guó)內(nèi)重大科研項(xiàng)目上的示范性應(yīng)用。下一步，掃描電鏡設(shè)備還將被納入一些知名半導(dǎo)體芯片制造商的實(shí)驗(yàn)室里，協(xié)助進(jìn)行開發(fā)分析，助力高端制造發(fā)展。

(記者華凌通訊員方針)

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